AE Pinnacle 直流磁控电源

产品特点
产品参数
Pinnacle直流磁控电源

产品型号：Pinnacle系列

Pinnacle? Plus+ Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle? Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。











优势

更高的沉积率与产品率

薄膜均匀性和品质一流 

成弧造成的基材损坏减少 

成本更低

系统整合容易

极佳的工艺灵活性和宽容度

重复性能

在过度曲线上运行稳定

吞吐量更高

便于监控

无与伦比的系统灵活性

特点

一个紧凑型封装

频率调节范围为 5-350kHz

占空比高达45%

电压范围宽——单输出宽阻抗范围 

大功率运行

基材温度低

单输出（5kW 和 10kW 型号）

用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）

绝佳的弧控制

反应性溅射闭环控制

产品参数
Pinnacle系列直流磁控电源详细介绍

优势：

最低的运行和安装成本

业界最快的弧反应时间

可配置的弧反应参数

最大的工艺效率

精确的工艺控制

特点：

最低的存储能量，每千瓦输出不到1mJ

无需调节输出变压器

4：1的阻抗范围

靶材处理时间----最大限度地缩短新靶材的处理时间

±0.1%的输出重复性

Joule模式---最优化的能量传送

规格：

输入电压：200/208、400或480VAC (±10%)、3￠4线、50/60kHz

功率因素：负荷＞90%

输出电压：低Z、标准Z或高Z

输出极性：浮动默认值，具有正和负功能

输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS

输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%

负荷调整：±1%,输出阻抗范围的V-1限值内4：1的负荷变化

温度系数：＞20℃至40℃的环境温度范围调整输出参数变化0.005%/℃

模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字

              37针绝缘，0至10VDC模拟。0/15VDC数字

37针绝缘，0至5VDC模拟。0/15VDC数字

串行通信选项：RS-232,RS-242,RS-485（可选波特率高达57.6K）

              AE Bus协议

              ASCII协议（MDX和仿真）

              Profibus(可选波特1.5或12MB) AE Bus协议

             具有DeviceNet选项

输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环

输入功率接头：五个终端、DIN压缩接头

尺寸：133 x 483 x 639 mm (高x宽x长)

重量：25.9kg

Pinnacle:6kw、6/6kw、8kw、10kw、10/10kw、12kw、15kw、20kw