蒸馏水：就是将水蒸馏、冷凝的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。有时候为了特殊目的，在蒸前会加入适当试剂，如为了无氨水，会在水中加酸；低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸等。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水，一般普通蒸馏取得的水纯度不高，经过多级蒸馏水，出水才可达到很纯，成本相对比较高。
高纯水/超纯水：是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。高纯水的标准为：GB1146.1-89至GB[168]，目前我国高纯水的标准将电子级水分为四个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
指标/级别EW-IEW-IIEW-IIIEW-IV电阻率M Ω·cm(25℃)18以上(95%时间)不低于1715(95%时间)不低于1312.00.5全硅，值， μg/Lμm微粒数， 值， 个/mL0.1510500细菌个数，值，个/mL0.010.110100铜，值， μg/L0.212500锌，值， μg/L0.215500镍，值， μg/L0.112500钠，值， μg/L0.5251000钾，值， μg/L0.525500氯，值， μg/L11101000硝酸根，值， μg/L115500磷酸根，值， μg/L115500硫酸根，值， μg/L115500总有机碳，值， μg/L20
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