1.1用途与特点
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
1 | 量程范围 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500，1000...3000）SLM |
2 | 准确度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 线性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | ±0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec |
6 | 工作压差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ，4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材质 | 316L不锈钢 |
15 | 密封材质 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
16 | 气路接头 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
