设备特点

●侧开门设计，进料无需吊机。

●缸体及连接件、相关结构件均采用不锈钢材质，坚固耐用，易清缸。

●涂层厚度可精确控制。

●使用 LED 数位真空显示计，显示工作状态时的真空值。

●采用红外线加热，高精度温控装置，多段独立控温，加热速率快，温控精准。具有定时加热、超温报警与自动停止

加热灯保护功能。

●配备自诊断功能和多种故障报警。

●可选配远程控制、手机 APP 控制、工业 4.0 功能及客制化设计。

派瑞林（Parylene 中文称:派瑞林、聚对二甲苯，或派拉伦），属于一种无支链、高度结晶，分子量超过 50 万，具有独特结构的热塑

性高分子材料。其原料常温状态下为白色或无色透明的颗粒。它具有高纯、致密、有极其良好的电绝缘性、耐热性、耐候性以及化学稳定性。

以独特的 CVD 制备工艺所得的 Parylene，具有其他涂料，如环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯等，难以比拟的性能优势。是一种完全线性的

高度结晶结构的材料。 Parylene 用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂

敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。这种室温沉积制备的 0.1-100 微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应

力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。广泛应用于生物医学（如

内窥镜硅胶线镀膜）、航空航天、印制电路组件、高密集度小型化产品、微电子集成电路、微电子机械系统(MEMS)、半导体、传感器、光学器件和文物档案保护等领域。