产品名称：奥林巴斯半导体FPD检测显微镜
产品型号：MX63MX63L
产品简介：MX 63 和 MX63L 显微镜系统具有多种功能，采用符合人体工学的易用设计，能够提供大 300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计，能够提供适用于多种检查用途的佳观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合，从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单
产品介绍：现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示（FPD）、印制电路板（PCB）等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L工业检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。
图1
新MX63/MX63L显微镜是该系列首个支持奥林巴斯MIX照明功能的产品，由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中，MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。
图2
新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源，兼顾低功耗和长寿命的优点，而且其稳定的色温为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。
图3
新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆直径200mm，MX63L可用于大晶圆直径300mm。此外，新显微镜还可以选配晶园搬送机，实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。
图4
新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内，镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。
MX63 | MX63L |
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正系统) |
显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。)
通过手动操作调整3位编码分光镜组件
内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动完全打开）
观察模式：明场、暗场、微分干涉相衬（DIC）*1、简易偏光 *1、荧光 *1、红外 *1 和MIX观察（4个定向暗场）*2
*1选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置 |
透射光照明 | 透射光照明装置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。
- MX-TILLA：聚光镜（NA 0.5）和孔径光阑
- MX-TILLB：聚光镜（NA 0.6），孔径光阑以及视场光阑
光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 光导: LG-SF
观察模式: 明场、简易偏光 |
聚焦 | 行程：32毫米
每转行程微调：100微米
最小分度: 1微米
用于粗调的上限限位器和扭矩调节 |
最大载荷重量(包括载物台和支架) | 8公斤 | 15公斤 |
观察筒 | 宽视场(FN 22毫米) | 正像三目镜筒：U-ETR4
正像、可调倾角三目镜筒: U-TTR-2
倒像三目镜筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察)
倒像双目镜筒: U-BI30-2
倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30 |
超宽视场(FN 26.5毫米) | 正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 0 : 100%)
正像可调倾角三目镜筒: U-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 20% : 80%)
倒像三目镜筒: U-SWTR-3 |
电动物镜转换器 | 明场
带DIC插槽的电动六孔：U-D6REMC
带DIC插槽的电动定心五孔：U-P5REMC 明场和暗场
带DIC插槽的电动六孔：U-D6BDREMC
带DIC插槽的电动五孔：U-D5BDREMC
带DIC插槽的电动定心五孔：U-P5BDREMC |
载物台 (X × Y) | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R
行程: 210 x 210毫米
透射光照明区域：189 x 189毫米 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2
行程: 158 x 158毫米
(仅适用于反射光) | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2
行程: 356 x 305毫米
透射光照射区域：356 x 284毫米 |
重量 | 约35.6公斤 (显微镜架26公斤) | 约44公斤 (显微镜架28.5公斤) |
半导体FPD检测显微镜MX63MX63L
