产品名称:奥林巴斯激光共聚焦显微镜
产品型号:OLS5000
产品简介:使用奥林巴斯 LEXT OLS5000 激光扫描共焦显微镜,能够通过非接触、非破坏的观察方式轻松实现 3D 观察和测量。仅需按下“Start(开始)”按钮,用户就能在亚微米级进行精细的形貌测量。该产品不仅易于使用,更具备先进功能,能够提供四倍于上一代型号的采集速度。对于需要观察大型样品的客户,LEXT 的长工作距离物镜和选配的扩展机架使得系统能够适用于大为 210mm 的样本。
产品介绍:激光共聚焦显微镜OLS5000可观察纳米范围的台阶,并可测量亚微米级别的高度差。还可以测量从线到面的表面粗糙度。配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
激光共聚焦显微镜OLS5000 有4大关键价值:
捕捉任意表面形状。
快速获得可靠数据。
使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。
测量具有挑战性的样品。
价值1:捕捉任意表面形状。
图1-图2
OLS5000显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。
价值2、快速获得可靠数据
图3
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,终实现生产力的提升。
价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可
图4
LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。
价值4、可测量具有挑战性的样品
图5
低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。
激光共聚焦显微镜OLS5000获取彩色信息
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。
激光共聚焦显微镜OLS5000405纳米激光光源
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率。
图6
激光共聚焦显微镜OLS5000激光共焦光学系统
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像
图7
激光共聚焦显微镜OLS5000 X-Y扫描仪
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。
图8
激光共聚焦显微镜OLS5000高度测量原理
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)
型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF |
总倍率 | 54x - 17,280x |
视场直径 | 16um - 5,120um |
帧率(激光观察 )[fps] | 3.25 / 55.6 |
帧率 (彩色观察) [FPS] | 30 |
测量原理 | 光学系统 | 反射式共焦激光扫描激光显微镜 |
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 |
彩色 |
彩色-DIC |
光接收元件 | 激光:光电倍增管(2ch)彩色:CMOS彩色相机 |
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5纳米 |
光栅尺 | 0.78纳米 |
动态范围 | 16位 |
可重复性σ *1 *2 *5 n-1 | 5X:0.45μm, 10X:0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm |
正确性 *1 *3 *5 | 0.15+L/100微米(L:测量值[毫米]) |
拼接图像正确性 *1 *3 *5 | 10X:5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm (L: 测量长度[μm]) |
测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *5 | 1纳米 |
宽度测量 | 显示分辨率 | 1纳米 |
可重复性 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X:0.4μm, 10X:0.2μm, 20X:0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm |
精度 *1 *3 *5 | 测量值+/- 1.5% |
拼接图像精度 *1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm]) |
单次测量时测量点的最大数量 | 4096 x 4096像素 |
测量点的最大数量 | 3600万像素 |
XY载物台配置 | 长度测量模块 | • | 不适用 | 不适用 | • | 不适用 |
工作范围 | 100×100毫米电动 | 100×100毫米手动 | 300 X300毫米电动 | 100×100毫米电动 | 100×100毫米手动 |
最大样品高度 | 100毫米 | 40毫米 | 37毫米 | 210 毫米 | 150毫米 |
激光光源 | 波长 | 405纳米 |
最大输出 | 0.95毫瓦 |
激光分类 | 2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014) |
彩色光源 | 白光LED |
电气功率 | 240瓦 | 240瓦 | 278瓦 | 240瓦 | 240瓦 |
质量 | 显微镜主体 | 约31公斤 | 约32公斤 | 约50公斤 | 约43公斤 | 约44公斤 |
控制箱 | 约12公斤 |