MSP-1S 磁控离子溅射仪 

主要特点：MSP－1S 喷金仪主要是为电子显微镜的样品制备而设计的专用喷金仪.

用途：为SEM样品表面喷镀金属层。

原理：利用磁控电极在低电压下离子溅射金属靶材。

操作方法：将样品放入样品仓，根据镀层厚度设置喷镀时间，按动开始按钮后从预备排气到喷镀过程都将自动进行，喷镀结束后旋转泵自动停止，样品仓充入空气后可取出样品。

主要部件:

� 样品室

� 真空系统

� 喷金及控制系统

设备参数：

1、仪器尺寸：长340mm*宽200mm*高350mm，台式设计内置旋转泵，重14kg.

  2、样品仓尺寸：内径120mm*高度65mm，材质为硬质玻璃。

  3、靶材电极尺寸：直径55mm，永磁体内置磁控管型

4、样品台尺寸：直径50mm，与阳极分离的浮动装配方式。

  5、标准靶材：Au-pd，可选配的靶材：Au,Pt-Pd,Pt.（客户根据实际需求进行选配）

  6、靶材到样品的距离：35mm，附带间距调节用的辅助台。

7、电源：AC100V,10A,带接地线的3P插头。（增配本地品牌变压器搭配使用）

设备规格：