陕西特佰鑫金属科技有限公司(13399175558)位于有“中国钛谷”之称的陕西-宝鸡。.从事钛、镍、锆、钽及其合金材料,复合材料的研发、生产、加工销售。尤其在钛及钛合金、钛复合,镍及镍合金金属加工领域,现已成为国内生产商之一。生产:钛及钛合金,钛板,钛复合板,钛合金板,钛包铜,钛棒,钛管,钛丝,钛环,钛饼,钛箔,钛靶材,钛锻件,钛盘管,钛法兰,钛标准件,钛加工件,钛管道,钛坩埚,钛补偿器,钛阳极,钛网篮,钛泵,钛搅拌器等。 镍及镍合金,镍板,镍管,镍棒,镍丝,镍箔,镍法兰,镍靶材,镍坩埚,镍加工件等。 锆及锆合金,锆板,锆管,锆棒,锆丝,锆箔,锆靶材,锆法兰,锆盘管,锆锻件,锆坩埚,锆加工件等。 设备类:钛/锆反应釜、钛钢复合反应釜、钛内盘管加热反应釜、钛/镍/锆储罐、钛钢复合储罐、钛/钛复合塔器、镍钢复合反应锅。 换热器:钛/锆列管式换热器、钛板式换热器、钛蒸/锆发器、钛/锆冷凝器、钛/锆冷却器、镍换热器、镍盘管、镍冷凝器、镍蒸发器、镍冷却器、钛/钛复合/锆再沸器等非标化工设备。 复合材:钛钢复合板、钛铜复合棒、钛铜复合板等。 加工销售:钨、钼、钽、铌等稀贵材料的管、板、棒、丝及制品,以及锆、钽、铌等材料的复合材料。欢迎各位新老客户来电咨询,采购!!!
靶材的主要性能要求: 纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。
例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。
不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
表面工程用靶材
品 名 | 纯度 | 密度 | 镀膜优势色 | 形状 | 常规尺寸 | 应用行业 |
钛铝(TiAl)合金靶 | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫瑰金/咖啡色 | 圆柱形 | 直 径 60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装 饰 / 工 具 |
纯铬(Cr)靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白色/黑色 | 圆柱形 |
纯钛(Ti)靶) | 2N8-4N | 4.51 | 金色/枪黑色 蓝色/玫瑰红 | 圆柱形 |
纯锆(Zr)靶 | 2N5-4N | 6.5 | 金色 | 圆柱形 |
纯铝(Al))靶 | 4N-5N | 2.7 | 银色 | 圆柱形 |
纯镍(Ni)靶 | 3N-4N | 8.9 | 金属本色 | 圆柱形 |
镍钒(Ni)靶 | 3N | 8.57 | 蓝绿色 | 圆柱形 |
纯铌(Nb)靶 | 3N | 8.57 | 白色 | 圆柱形 |
纯钽(Ta)靶 | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫色 | 圆柱形 |
纯钼(Mo)靶 | 3N5 | 10.2 | 黑色 | 圆柱形 |