KRI Power Supply and Power Pack Controllers 功率控制器

KRI 应用领域：
无栅极等技术
----End-Hall 离子/等离子源
有栅极技术
----RFICP 
----DC 技术
----灯丝
----中空阴极 (Hollow cathode)
----等离子中和器
单机应用
----直流电源 (DC power)
----射频电源 (RF power)

有多个模组组成，模组的特性取决于功率、频率、电压、电流和控制方式，大多数模组都满足 CE 和 CoHS 标准。

监控：监视器
稳定输出：设置的最优化
状态诊断：用户直接获取
参数存储：准确保存

连续性和稳定性
功率控制器能够在紧急情况下比如载入高能量的等离子体、短路、电流过冲、电压过冲和功率过冲的情况，实现保护功能。确保在运行沉积和刻蚀工艺时进行不间断的操作。通过数显的面板，可以即时观测和控制工艺参数和状态资讯。

KRI Inpidual Power Supply Controller 独立的功率控制器
功率控制器可以单独使用也可以集成到其它功率包中，能提供直流、交流和射频功率。
AC Power 交流电源

交流电源输出一个低频的直流信号，适用于低阻抗负载，比如驱动类似于灯丝这样的发热原件，通过大的功率加热灯丝到发射热电子的温度。
交流电源比直流电源更有利于灯丝寿命的延长
软起功能有助于平稳的提高灯丝温度从冷起到电子发射的温度

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