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哈默纳科薄膜加工谐波SHF-40-80-2UH
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上海浜田实业有限公司
中国 上海
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品牌
Harmonic Drive
型号
SHF-40-80-2UH
类型
谐波减速器
载荷状态
均匀载荷
传动比级数
单级
轴的相对位置
卧式减速器
传动布置形式
同轴式
加工定制
加工定制
样品或现货
样品
齿面硬度
硬齿面
输出转速范围
1rpm
输入转速
2r/min
额定功率
3kw
使用范围
1
外形尺寸
2mm
SHF-14-30-2A-GR
SHF-40-50-2A-GR
SHF-17-30-2A-GR
SHF-45-50-2A-GR
SHF-20-30-2A-GR
SHF-50-80-2A-GR
SHF-25-30-2A-GR
SHF-58-50-2A-GR
SHF-32-30-2A-GR
SHF-58-160-2A-GR
均能有效提高蚀刻速率;但浓度之影响则较不明确。举例来说,
哈默纳科薄膜加工谐波
SHF-40-80-2UH
SHF-40-80-2UH 以49%的HF蚀刻SiO2,当然比BOE(Buffered-Oxide-Etch;HF:NH4F=1:6)快的多;但40%的KOH蚀刻Si的速率却比20%KOH慢!湿蚀刻的配方选用是一项化学的专业,对于一般不是这方面的研究人员
哈默纳科薄膜加工谐波
SHF-40-80-2UH
,必须向该化学专业的同侪请教。一个选用湿蚀刻配方的重要观念是「选择性」(selectivity),意指进行蚀刻时,对被蚀物去除速度与连带对其他材质(如蚀刻掩膜;etchingmask,或承载被加工薄膜之基板;substrate)的腐蚀速度之比值。一个具有高选择性的蚀刻系
哈默纳科薄膜加工谐波
SHF-40-80-2UH
统,应该只对被加工薄膜有腐蚀作用,而不伤及一旁之蚀刻掩膜或其下的基板材料。
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