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日本光驰1300MM 1550MM进口真空镀膜机 光学电镀机 光学机
厂商 | OPTORUN | OPTORUN | SHINCRON |
型号 | OTFC1300C | OTFC1300DB | BMC1300DDI |
序列号 | S0019 | S0567 | 980051 |
电子枪（双电子枪有无） | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN |
坩埚点数 | 24点+28点 | | 24点x2 |
旋转泵 | | VS2401 | MTR |
机械升压泵 | EH500 | | MTR |
扩散泵 | 冷冻U20Px2台 | 22’x2台 | 28’x2台 |
冷冻机 | 无 | Polycold PFC-670HC | Polycold PFC-550HC |
离子枪（射频离子源） | 有 | 无 | RIS-1200-2 |
光学检测有无（光控/精控） | 有 | 有 | 有 |
基板加热heater有无 | 有 | 有 | 有 |
| 中心回转 | | 中心回转 |
本装置是为减反射光学薄膜的大批量生产而设计制作的光学镀膜机。采用了磁流体密封技术的中心旋转式基板架，保证了薄膜产品的重复性与均匀性
优化的排气特性和升温能力使镀膜时间缩短
可以加装用于对应高精度AR镀膜的多层膜用可靠的光控仪 (optional)
1.标配参数：双枪、 离子源、 晶控、23公分的射频源、 热阻蒸、 顶部侧部加热、 两个扩散泵、一个螺丝泵、一个机械泵
2.用途：此真空镀膜机是镀制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AF+AS膜）型光学镀膜机，应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性，运动模式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载能力大，可充分利用有效空间的真空镀膜室，是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵，扩散泵，管道和阀门组成。为了提高泵的流量，可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此，不仅在较短的时间内低压力以保证快速的工作循环的排气系统，还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制
3.特征：磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布
4.配备：配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性；用于防污膜（AS 膜）批量生产；防污膜（AS 膜）批量生产。
5.性能：达到压强7.0E-5Pa以下
日本光驰1300MM 1550MM进口真空镀膜机 光学电镀机 6.配置参数：
真空室 Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm
基板架转速 20rpm
晶振式膜厚计 6点式⽔晶传感器
蒸发源电⼦枪1台，热阻蒸达到压强 7.0E-5Pa 以下
排强时间 15分以下（压强〜2.0×10-3 Pa）
7.工作条件：
设备尺寸约6300mm (W)×9000mm (D) ×4000mm (H)
电源 3相,200v,50/60Hz,约80KVA
水流量 220升/分以上
空气压力 0.5-0.7mpa
重量约12000kg
二手机械库存明细
双面抛光机系列：
日本：hamai16B speedfam16B 21B 28B 30B 40B 双面抛光研磨机
德国：Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机
国产：金研/宇晶9.6B 9S 9B 13B 15B 16B 20B
镀膜机械系列：
日本：光弛OTFC-1300/1550/2350
德国：莱宝：1300
台湾：龙翩LP-1400/1650/1800
韩国：韩一 1200 联合2050
南光：1100/1300
检测仪器：
日本岛津：1900/2401/2550/3700分光光度计
日 立 ：2900/4000/4001/4150 光谱仪
二次元/三次元（2010/3020/4030.......）
一批二手仿形机120/175MM
一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米
一批10-13槽半自动超声波清洗机
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| 二手设备清单 |
| 1 | 抛光设备 | 日本（HAMAL 创技）：9到40B |
| 德国双端面磨床（皮特沃斯：319 320） |
| 台湾多米诺单面抛，国产单面抛（900到1.7米） |
| 台湾环抛机（610 900 1米） |
| 国产抛光机（瑞德4B 6B 9B 13B 15B 16B 20B） |
| 2 | 检测设备 | 干涉仪（美国ZYGO 日本富士 日本奥林巴斯） |
| 日本岛津光度计（ 1700 1750 1800 2450 2550 2601） |
| 进口光谱仪（日本日立4100 傅立叶红外光谱仪） |
| 平坦度测试仪（进口FT17 康宁100） |
| 日本帕尔：中心仪 日本尼康：准直仪 |
| 3 | 奥林巴斯透镜设备 | 日本春进下摆机，球面铣磨机，上摆机，推拉机，芯取磨边机 |
| 4 | 玻璃加工设备 | 中航仿形机 全自动仿形机 透镜铣磨机 |
| 精雕机（北京精雕，台湾大量，恒远，远洋，佳铁） |
| 切割机（韩国全自动切割机，台湾精一异形切割机，银锐切割机） |
| 5 | 测量设备 | 二次元影像测量仪（全新2010 3020 4030二手特价出售 ） |
| 三坐标（思瑞 三丰 杜芬品牌） |
| 6 | 镀膜设备 | 德国莱宝，新科隆，光驰，韩一，成都南光 |
| 7 | 配件辅料 | 抛光皮，金钢砂盘，修正轮 |
地 址：广东东莞市茶山镇黄岭路62号
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