氦质谱检漏仪

真空吹气法（Spray法，喷氦法） （工作容积约5升）

• 将被测件内部抽成真空，在外部吹撒氦气。氦气会从泄露处进入，然后被检测出来。

• 适用于焊接管道、波纹管、密封接头等的泄露测试。

真空外覆法（真空Hood法，真空氦罩法）

• 将待测件内部抽成真空，外面包裹充满氦气的外罩。如果有泄露，在待测件内部可以检测出氦气的存在。

• 适用于流量计等的测试。

吹入法（吸枪法，sniffer法）

• 因为强度或者其他原因，在待测件不能被抽成真空的情况下，可以在待测件内部加压注入氦气（或者氦气与其他气体的混合气体），如果有泄露，可以使用吸枪在泄漏点附近检测出氦气。

• 适用于压缩机、热交换器、冷凝器等的测试。

※需要使用吸枪。

浸入法（bombing法，钢瓶法）

• 将被测件使用加压装置充入氦气，放入测试仓中。由于压力差的存在，如果被测件又泄露，在测试仓中将会检测到氦气。

• 适用于石英晶体振荡器、SAW等的泄露检测。

※需要加压装置和检测仓。

真空容器法（Chamber法，ベルジャー法）

• 将被测件充入氦气，放在粗真空仓中，真空仓排气管与检漏仪相连。如果有泄露，在真空仓中将会检测到氦气。

• 适用于灭火器，气囊充气设备的测试等。

并列排气法

• 用于大型的设备和大容积真空仓，通过检测抽气设备所排出的氦气检测泄露。

• 适用于真空蒸镀设备、吸收式、真空炉等设备的检测与维护。

※无线检漏设备为选配。