BROOKS 5850E参数：

·型        号：   BROOKS 5850E

·量        程：   3sccm-1000SLPM

·测 量  精 度：   满量程的1%

·控 制  范 围：   50：1

·反 应  时 间：   2s

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·输入输出信号： 0-5V

·电        源：   ±15V

·零点 稳定 性：   每年变动小于满量程的±0.2%

·工作温度范围：   5~65℃（41~149℉）

·工作压力范围：   0-1500 psi/0-100 bar

·压差控制范围：   5-50psi/0.35-3.45bar

·漏率（外部）：   1x10-9 atm. cc/sec He

·阀 门  类 型：   常开、常闭、仪表

· 密 封  材 料：   316L不锈钢、高合金不锈钢、Viton® 氟橡胶、Buna-N、Kalrez 和 Teflon

·电 气  连 接：   15 针公接头 Sub D 型连接器 (DA-15P) 或 Card Edge 连接器（仅限控制器型号）

BROOKS优点：

一、先进的热式流量测量传感器：

1. 优异的信躁比性能，可在低设定值下获得高精度

2. 通过改进传感器制造和烧机测试工艺获得良好的长期稳定性

3. 恒温封装可降低对外部温度变化的敏感性

1. 宽流量范围

   5800系列流量范围及其广，5850具有低至3sccm的满量程流量。借助 50:1 的高调节比，可重复测量或控制 0.06 sccm 流量的气体！5853 型可监测或控制高达1000 Slpm 的气体流量。

2. 快速响应性能

   5800 系列的电子器件和优异的机械配置确保快速、稳定的响应特性。