2.1.1基本过程控制系统basicprocesscontrolsystem
对来自过程的、与该系统相关设备的以及操作员的输人信号进行响应,并产生输出信号使过程
及与该系统相关设备按要求方式运行的系统。该系统不应执行安全完整性等级大于或等于1的仪
表安全功能。
2.1.2开关量digitalvariable
开关量是只有两个数值的变量,用来表示事物或事件的状态。也称为“数字变量".
2.1.3诊断覆盖率diagnosticcoverage
诊断测试检测的部件或子系统的失效率与总失效率之比。诊断覆盖率不包括由检验测试检测
到的任何故障。
2.1.4故障裕度faulttolerance
在出现故障或误差时,功能单元继续执行要求功能的能力。
2.1.5逻辑控制器logicsolver
本规范逻辑控制器是指执行--个或多个逻辑功能的设备,它既可以是-一个基本过程控制系统的
部分,也可以是安全仪表系统的一部分.
2.1.6元终元件
finalelement
本规范元终元件是指执行预先设定的动作，使过程达到预定状态的设备,如阀门、电机等,它是
联锁系统的组成部分。
2.1.7人机接口humanmachineinterface
本规范人机接口是指操作人员与信号报警联锁系统之间进行信息交换的手段，如操作员站、灯
屏、音响.按钮、报警器打印机等。
2.1.8联锁系统interlocksystem
当过程参数越限、设备等状态异常以及操作员输入信号时,执行预先设定要求的系统。联锁系
统分为安全联锁系统和非安全联锁系统。联锁系统可由传感器和/或发讯器、适辑控制器.元终元件
及相关软件组成。
2.1.9发讯器message-sendingdevice
输出开关量信号的设备
2.1.10按钮
pushbutton
按钮是只有一种稳定位置的状态器件。有软件按钮和硬件按钮两种。
2.1.11冗余redundancy
采用二个或多个部件或系统分别独立执行同一个功能，并且互为备用及切换。
Microwave Plasma Source Assy, for Gasonics/Novellus
Novellus Concept II Two C2-DCLM-S
CONTROLLER NOVELLUS 270019800
CONTROLLER NOVELLUS 27017400
CONTROLLER NOVELLUS 270019800
CONTROLLER NOVELLUS 27017400
Novellus 300mm HDP ESC, 15-265814-00 Rev A,
Novellus Main power panel 79-283252-00 01-305990-00 400A 208V 3phase
Novellus Sequel HDP Speed chamber body
Vactronic PECVD Plasmatherm Etch Tool Oxford Novellus
NOVELLUS BELL JAR NE HIGHPOWER 02-293756-00
Novellus 02-270441-00 - Gas Box
NOVELLUS 02-134263-00 RA ASSY,ESC,200MM SEMI,MC
Novellus Speed NTM 500 Controller, 27-258087-00, A670-100-7020
COMDEL CLX-10K/CX-16P mstr-slave NOVELLUS 27-257659-00
NOVELLUS 02-028522-00 ASSY,SYS CNTRL,P100/16MEG
NOVELLUS 02-034310-00 ASSY,MOD CNTRL,P100/16M
Microwave Plasma Source Assy, for Gasonics/Novellus
NOVELLUS 27-121645-00 MATCH,TRAZAR,SEQ,IMP COOLING
Novellus Concept Two Altus C2-DLCM Mainbody Frame
ALCATEL 7991348AD5501 ADS 501 PUMP, VACUUM (CONFIGURED FOR NOVELLUS)
Novellus Quadrant Tech 04-707985-03 Metron Quantum Magnet Rev.J VAR1956
Novellus circuit breaker panel LPB, WTS HV 02-158824-00 B w Cosel power supplies
BROOKS ASSY ROBOT ATR8 3FP NOVELLUS VCTR/WTSHV
NOVELLUS ASSY, LOADARM BOAT ROTATION ASM 2587998-01
Novellus Concept Two Altus Wafer Chamber CVD-W complete
Novellus I/O Controller PN 27-
Allen Bradley 2711-T5A8L1 Panelview 550 2711T5AL1 *XLNT
Allen Bradley Panelview 550 K5A1 Series B Rev B Frn1.03
Allen Bradley 2711-B5A8 Panelview 550 Series H
Allen Bradley Panel View 550 2711-B5A8
Allen Bradley Panelview 550 Cat# 2711-K5A5 Ser F
AB Panel View 550 Interface, 2711-T5A2L1X WARRANTY
Allen Bradley PanelView 550 2711-B5A2X Ser B Module
ALLEN BRADLEY 2711-T5A15L1 PANELVIEW 550 "NOB" TOUCH
Allen Bradley 2711-K5A2 /H | PanelView 550
Allen Bradley 2711-B5A5 /B | PanelView 550
Allen Bradley Panel View 550 2711-K5A2
Allen Bradley 2711-T5A20L1 Panelview 550
ALLEN BRADLEY PANEL VIEW 550 2711-K5A1
Allen Bradley 2711-B5A1L1 /F | PanelView 550
Allen Bradley 2711-B5A20L1/H Panelview 550 2711B5A20L1
Allen Bradley 2711-K5A1 /H | PanelView 550
Allen Bradley Panelview 550 2711-K5A5 Ser F Rev J Used
Allen Bradley 2711-B5A2 /H | PanelView 550
ALLEN BRADLEY PANELVIEW 550 MAIN BOARD TOUCH SCREEN
Allen Bradley 2711-T5A8L1 | PanelView 550
Allen Bradley PanelView 550 2711-B5A2 Ser B Module
Allen Bradley 2711-T5A2L1 | PanelView 550
Allen Bradley 2711-B5A2 /E | PanelView 550
Allen Bradley Panel View 550 2711-B5A1 USED
Allen Bradley Panel View 550 Good As Sealed. BNIB
Allen Bradley Panel View 550 2711 B5A5 NEW
Allen-Bradley PanelView 550 W/Keypad 2711-B5A8 NICE
