电子级是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用，在制冷行业，用六氟化硫做制冷剂，致冷范围可在-45℃～0℃之间。