为无色、无味、不燃烧，无电抗性的、相对无毒、仅有窒息性的液化气体。液化瓶装气体，压力为其蒸气压(202.78 kgf/cm2 @21.1°C)。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业等。电子级是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用，​