真空炉包括真空清洗炉体、炉盖及所带的废料收集系统、真空系统、密封系统、由微机控制工作的电加热系统、水冷却系统和清洗物装卸系统。
真空清洗炉按照结构可以分为：轨道式真空清洗炉、井式空清洗炉、立式空清洗炉、卧式空清洗炉、大容量真空清洗炉等。