NIKKA SEIKO日化精工晶圆加工液体蜡TR2-50482
一种液体蜡，可用于使用自动晶圆键合设备从涂层到剥离和清洁的全自动生产线。
Sky Liquid系列适用于自动贴片机或旋涂机涂布，满足高精度晶圆高平整度贴合的生产需求。通过使用高纯度清洁剂“Kirara Clean”或传统的 SC-1，可以实现减少颗粒产生和雾度（混浊）的清洁效果。
WA系列是将水溶性蜡用有机溶剂液化而成的新型蜡。它可以在低温下使用并用纯水清洗，极大地促进了工作环境的改善和废液处理的简化。JC系列是以水为溶剂的环保型水溶性蜡。它可以通过将它涂抹在像 Sky Liquid 这样的盘子上来使用。可以用高纯度洗涤剂“Kirara Clean”等碱性洗涤剂清洗。可按原工艺加工，无需引进新设备。（拍。）ASTRO LIQUID 是一种液体蜡，它是作为在图案化的半导体器件晶圆背面研磨过程中用于临时粘合的蜡而开发的，可以通过选择浓度来调整涂膜的厚度。对凹凸不平的图案表面具有优良的适用性、附着力、耐加工性，加工后可用IPA等溶剂清洗。
