台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪（探针式

Dektak150台阶仪由美国维易科公司（Veeco）制造，主要用于薄膜厚度，表面形貌，应力，平整度等精密测量，广发应用于光学，太阳能，半导体，生命科学，材料科学等领域。测量时利用金刚石探针在样品表面运动，记录探针垂直位移，经过一系列信号转换及处理，最终以表面轮廓线形式表现，从而达到测量样品表面台阶高度，粗糙度等物理参数的目的。

主要参数：探针直径为2.5 μm，探针压力为3 mg，测量范围是10~66500 nm，垂直方向精度为0.1 nm。