六甲基二硅氮烷
简  称 HMDS
别  名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量 161.39
密  度 0.770—0.780 
折光率 1.408±0.002
闪  点 27℃
沸  点 126℃ 
色  度 ≤10
性　状 无色透明液体、略带胺味
溶解性 溶于有机溶剂
用　途：
1.特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
2碱性硅烷化保护剂，无机填料处理剂