基于MEMS技术的硅压阻式传感器, 由扩散硅充油芯体和高精度的信号调理芯片组成。 芯片由316L不锈钢膜片及壳体和硅油密封,产品外壳采用304L不锈钢材质,该结构使之能够测 量所有与316L和304L不锈钢兼容的流体介质。外界压力作用在充油芯体上,产生的信号经过两次校准(模拟补偿+信号调理芯片处理)后,以1²c的形式输出。每个产品都已经在工厂里进行了 标定,以确保产品的各种环境中的测量精度。
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