ASM EAGLE 12 等离子增强化学气相沉积系统
品牌：ASM
型号：EAGLE 12 
机器年份：2002年
用法：化学气相沉积
规格（功能/细节）：应用：等离子沉积系统（Cu线）
                   特点：a-Si、TEOS、SiO2沉积
                   兼容基板：仅φ300mm硅基板

晶圆尺寸：12