光刻机 SUSS MA/BA8

技术参数：本设备是SUSS公司半自动化光刻系统，以LED灯为紫外光源配合新的平台系统，通过均匀、高能量和准直的光束对光刻胶进行曝光。平台采用高端数码显微镜和摄像系统，可对掩模板和品圆进行高精度对准(正面和背面)，获得高质量的曝光结果。