接触接近式光刻机

光刻机 品牌：SUS 型号：MA6

仪器名称：接触接近式光刻机
英文名称：
所属分类：其他仪器 > 其他 > 其他
学科领域：电子与通信技术
主要技术指标：硅片尺寸 Size 4〞(ф100.0mm) 硅片直径及偏差 Diameter 100.0mm ±0.25 厚度范围 Thickness range 650 μm±25μm 总厚度偏差 TTV ≤5um 局部平整度 （site 10mm×10mm）LTV ≤1 um 弯曲度 Bow ≤20um 翘曲度 Warp ≤30um 
主要功能：光刻胶匀胶显影； 硅片尺寸 Size 4〞(ф100.0mm)； 光刻胶曝光图案化