光刻系统SUSS是一种用于物理学、电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2005年12月28日启用。

中文名光刻系统SUSS产    地德国学科领域物理学、电子与通信技术启用日期2005年12月28日所属类别工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备