设备名称：光刻机SUSS      型号：MA150CC        尺寸：4寸    6寸  Wafer厚度600um-2200um

对准方式;正面准+背面对准    显微镜系统:设备配备左右两组显微镜。配置三轴移动平台用来调节镜头位置。