1高精度，非接触在线薄膜厚度测量 ：测量精度CD方差值±0.1um,MD精度±0.1um;
2)功能强大的HHE-TJ2015控制系统，分析产品生产过程的缺陷和质量 ，降低原料的浪费；
3)高精度探头：Soft-X Ray射线探头（带温度自补偿）；
4)智能扫描架通过以太网同主机联结 ，接线简单方便；
5）新开发的HHE-TJ2015(V1.3)版系统，采用以太网的客户机-服务器架构，可以实现多机联网操作、远程诊断、DCS和ERP数据共享等；和翰海电气自主开发的微物料自动称量系统(HHE-ABS系统)配合使用，可以实现生产线的全自动上料和质量管理及过程控制功能；
6)“O”型智能扫描架自带压延薄膜自控功能，无需另外增加其他设备；
7）薄膜厚度及形状自动控制
8）符合环保低放射性免检要求，不需要办理任何放射使用手续；