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扫描电子显微镜是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
特点：可观察数纳米到毫米范围内的形貌；分辨率一般为6纳米；场发射率理论上可达到0.5纳米量级；要求样品具有导电性。
用途：三维形貌的观察和分析；在观察形貌的同时，进行微区的成分分析。
