精度：精度<3um，测量结果即真值，无需任何补偿。

产能：可以测量>20000片。

快速：测量15个点的平面度时间<4秒。

专检：平面度、高度、厚度、轮廓度。

FL4030

*   精度<3um；
*   可以测量>20000片；
*   测量全部影像尺寸<0.3秒/片；
*   专检平面度、高度、厚度、轮廓度等