品牌：英鹏

型号：YP-150IS

腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm

供电规格：AC220V,200W

溅射电压：MAX 2500V

溅射电流：MAX 30mA

靶材尺寸：直径57mm,厚度0.1~0.5mm

适用靶材：贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金属Cu、W、Ag、Cr等

样品台可调高度：20-50mm

样品台尺寸：直径55mm