第三轴采用高速高精度专用音圈电机;
高性能数字驱动扫描模组;
高精:重复精度<2urad;
均匀:在1064nm波段特别设计了焦距为254mm的光学系统,全幅面加工范围内聚焦光斑的直径误差可做到小于2%
主要配置
主要配置 |
参数 | 型号 |
A1064-14 | A355-14 |
振镜参数 | 通光孔径 | 8mm |
跟随误差 | 0.3ms |
标刻速度 | 3000mm/s |
定位速度 | 7000mm/s |
1%全行程 | 0.65ms |
10%全行程 | 1.6ms |
重复精度 | < 2µrad |
增益漂移 | < 80ppm/K |
零位漂移 | < 15µrad/K |
8小时漂移 | < 0.3mrad |
非线性度 | < 0.4% |
接口协议 | XY2-100 |
扫描角度 | ±12.5° |
动态变焦系统参数 | 系统入射光斑 | 7mm | <2.8mm |
扩束比 | 1.4 | 5 |
变焦范围 | ±30mm | ±20mm |
光学参数 | 波长 | 1030-1070nm | 355nm |
最大承受功率 | 100W | 25W |
工作范围 | 150*150① | 150*150② |
基本参数 | 电源要求 | ±15VDC, ≥5A |
工作温度 | 25±10℃ |
注:① 配175-254定制场镜,焦距254mm
② 适配180-300定制场镜,焦距300mm
典型应用
INVINSCAN 3D振镜可用于脆性材料切割、纹理、表面处理、深雕浮雕、3D打印等。