作为干法清洗等离子清洗机可控性强,一致性好,不仅去除光刻胶有机物,而且还活化和粗化晶圆表面,提高晶圆表面浸润性
晶圆清洁-等离子清洗机用于在晶圆凸点工艺前去除污染,还可以去除有机污染、去除氟和其它卤素污染、去除金属和金属氧化
等离子清洗机在芯片领域的应用
1、芯片清洗:采用等离子清洗机对芯片清洗去除表面及内部污染物,确保后续封装工艺质量。
2、表面活性:采用等离子清洗机对芯片表面进行活性处理,使其表面增强促进粘合剂与芯片表面的粘附。
3、微电子芯片制造:等离子清洗机可用于清洗微电子芯片表面,去除氧化层及其它污染物,并能增强芯片表面的附着力,提高芯片的附着力和可靠性。
利用等离子清洗机在半导体工业中还可以进行表面预防处理,提高半导体生产过程中的效率和质量。等离子清洗机可去除器件表面的污染物、划痕和氧化层,提高器件的可靠性和维护效率。
等离子清洗机提高粘合度,增强涂覆附着力,解决粘接剥离力低、印刷不良、焊接不良等问题等离子清洗机处理是利用等离子高能粒子与有机材料表面发生物理与化学反应,能够实现对工件表面开展激活、蚀刻、去污等工艺处理,还有对材料的摩擦因数、黏合和亲水性等各类表面特性开展改进的目的。
等离子清洗机一般通过利用对气体增加足够的能量使其离化成为等离子状态,通过这些活性组分的性质来处理样品表面,逐步实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
1、等离子清洗机提高粘接能力,等离子处理设备可在材料表面增添化学功能键实现表面活化,提高粘接性能
2、等离子清洗机提高浸润性,等离子体在材料表面进行化学反应,提高表面能
3、等离子清洗机提高材料表面洁净度,提高粘接、涂漆、印刷、着色等工艺前的表面附着力
4、使用等离子清洗机针对薄膜材料活化处理,可以解决覆膜开胶问题
5、等离子清洗机提高 表面阻隔力、提高表面防腐抗氧化能力,改变光学透反射性能
1. 光学镜头
红外滤光片在镀膜前一般都要经过超声波清洗机和离心清洗机清洗,但若想要得到超洁净的基体表面,则需进一步采用等离子表面处理设备去除基体表面肉眼看不到的有机残留物,等离子表面处理设备还能对基体表面的活化和刻蚀提高镀膜品质和良率
2. 手机摄像模组
COB/COG/COF工艺制造的手机摄像模组已被大量运用到千万像素的手机,等离子表面处理设备在这些工艺制程中的作用越来越重要,滤光片、支架、电路板焊盘表面的有机污染物去除,各种材料表面的活化和粗化,进而达到改善支架与滤光片的粘接性能,提高打线的可靠性,以及手机模组的良率等目的。
3.手机外壳
等离子表面处理设备不仅可以清洗塑料、金属、玻璃以及陶瓷等材质的手机外壳表面的有机物,能很大程度的活化这些材料的外壳表面,增强其印刷、涂覆等粘接效果,使得外壳上涂层与基体之间非常牢固地连接,涂覆效果非常均匀,外观更加亮丽,并且耐磨性大大增强,长时间使用也不会出现磨漆现象。
4.手机天线
手机天线的粘接是在两种以上不同材料之间实现的,通常是在基体表面涂覆胶水再粘上FPC固化而成。当基体表面有脏污或者表面能比较低时,粘接的可靠性就得不到保证,会出现分层或开裂现象。借助等离子表面处理机清洗和活化基体表面,改善粘接性能,提高可靠性。
5.耳机听筒
耳机中振膜的厚度非常薄不容易粘接,传统的办法是采用化学处理来要提高其粘接效果,但会改变振膜的材质特性,从而影响音效。等离子表面处理设备仅仅作用于材料纳米级的表面,并不会改变振膜的材质特性,通过清洗去除有机物,活化形成亲水性基团,有效提高粘接效果。另外利用等离子清洗机处理后生产的耳机,各部件之间的粘接效果明显改善,在长时间高音测试下也不会有破音等现象发生,使用寿命也有很大的提高。
6.麦克风
麦克风按工作原理可分为动圈式、电磁式、压电式和电容式,不同的产品工艺会有所区别,但随着对粘接、邦定、封胶等工艺品质的要求越来越高,等离子表面处理设备在提升产品质量,减低报废率等方面的作用日益明显。
7.喷墨、印刷、喷码前印字前采用等离子清洗机处理提高油墨附着力,摆脱开胶烦恼
8.新能源锂电池电芯采用等离子处理设备清洗提高蓝膜粘接性能,改善极耳焊接性能
9.高分子塑胶表面采用等离子清洗机表面活化提升材料粘接力
10.等离子清洗机处理汽车保险杠、密封条提高表面浸润性能,提高漆层附着力及流平速度,降低低橘皮效应
11.等离子处理设备对玻璃表面有机物清洗,提高浸润性能,提升后续镀膜层附着力
等离子清洗机用于镀膜、油墨印刷图层粘接去静电油污提高亲水性