等离子清洗机提高半导体芯片的附着力导电性能、耐腐蚀性和耐磨性等等
离子去胶机器清洗和处理晶圆表面,去除污染物、沉积物和薄膜,提高晶圆的封装力
等离子清洗机在去除光刻胶方面的具体使用:
等离子清洗机的应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、晶圆凸点、消除静电、介电质刻蚀、有机污染去除、晶圆减压等。使用等离子清洗机不仅能去除光刻胶等有机物,还能活化加粗晶圆表面,提高晶圆表面的浸润性,使晶圆表面更加具有粘接力。
等离子体清洗机在PCB板上作用于多层PCB板的微孔胶渣的去除,能够彻底去除胶渣可以增加孔壁与镀铜层的结合力,提高孔镀的信赖性和良率,防止内层开路和导通不良。等离子清洗机为所处理的材料表面带来洁净、提高湿润性转变,表面性质改变,提高结合力等处理效果。
等离子清洗机去除光刻胶、活化、刻蚀、沉积、聚合、接枝、污染物去除、表面化学改性、聚合物植、表面涂覆等。
等离子清洗去胶机器在半导体行业能去除表面污染物和颗粒,有利于提高导线键的强度,减少芯片分层的发生,提高芯片本身的质量和使用寿命,提高包装产品的可靠性
专为半导体封装和组装 (ASPA)、晶圆级封装 (WLP) 和微机电 (MEMS) 组装的需求而设计等离子清洗机能改善或克服许多制造挑战,包括改善芯片附着、增加引线键合强度、消除倒装芯片底部填充空隙以及减少封装分层。
芯片贴装 - 基板通过等离子清洗机表面活化提高芯片贴装环氧树脂的附着力,从而改善芯片和基板之间的粘合。更好的键合可改善散热。
引线键合 - 在引线键合之前对焊盘采用等离子清洗机提高键合强度。
底部填充 - 底部填充工艺之前采用等离子清洗机表面处理来提高底部填充芯吸速度、增加圆角高度和均匀性、减少空洞并提高底部填充粘合力。
封装和成型 - 等离子处理通过增加基材表面能来提高成型化合物的附着力,改进的粘合增加了封装的可靠性。MEMS - 加速度计、翻滚传感器和气囊展开传感器等 MEMS 器件在制造过程中采用等离子体清洗机处理提高器件产量和长期可靠性等离子清洗机用于集成电路、半导体生产中晶圆的清洁去胶、硅片去除污染物和氧化物、提高粘接率,等离子清洗去胶机能够对微孔、狭缝等细小的空间进行处理,具有高度活性、效率高,且不会对电子装置产生离子损害。 通过工艺验证,等离子清洗机降低了接触角度,提高了引线键合强度。
等离子去胶机清洗晶圆光刻胶:晶圆在封装前采用等离子清洗机处理能去除表面的无机物和污染物,氧化层还原,铜表面的粗糙度提高,产品的可靠性提高。
等离子清洗机器的应用包括预处理、灰化/光致抗蚀剂/聚合物剥离、芯片碰撞、静电消除、介质蚀刻、有机污染去除、芯片减压等。使用等离子清洗机不仅能去除光致抗蚀剂和其他有机物质,而且可以活化和增厚芯片表面,提高芯片表面的润湿性,使芯片表面更有粘合力。
等离子清洗机在封装工艺中的应用:1. 防止包封分层2. 提高焊线质量3. 增加键合强度
4. 提高可靠性,尤其是多接口的高级封装