| 产品参数 |
| PRODUCT PARAMETER |
| FC 系列 |
FC系列气体质量流量控制器，拥有RS485/Profibus
/DeviceNet/EtherCAT/ 模拟量等多样化的通讯方式，
可为客户提供更加灵活的选择。FC系列严格遵循SEMI 相
关标准，气体接触面粗糙度均达到Ra0.1, 拥有更加的耐腐蚀性能。 |
| 型号 | MFC |
| 类型 | | FC系列 |
| 流量规格 | 5SCCM—1000SCCM
1SLM—1000SLM |
| 控制阀类型 常闭 |
| 关闭时流量 | ≤2%F.S. |
| 流量控制范围 2～100%F.S. |
| 流量精度 | ±0.25%F.S.(Q≤25%F.S.)
±1%S.P.(Q>25%F.S.) |
| 线性 ≤±0.5%F.S |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 零点漂移 | <0.5%F.S./年 |
| 工作环境温度 | 10～45℃ |
| 温度系数 ≤±0.05%S.P./℃ |
| 响应时间 | 1s(依据量程不同有所差异) |
| 量程段 电磁式 |
| 工作压差 | 10CC-10SLM | 0.05-0.35MPa |
| 20SLM-50SLM 0.2-0.45MPa |
| 100SLM-300SLM | 0.3-0.45MPa |
| 400SLM-1000SLM 0.35-0.5MPa |
| 最大工作压力 | 0.6MPa |
| 漏率 橡胶：1×10-9Pa.m3/sec(He)金属：1×10-11Pa.m3/sec(He) |
| 通讯方式 | 数字：RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟：0-5V DC(4-20mA) |
| 内部接触表面 Ra0.1 |
| 标准接头 | VCR:1/4"、1/2"
Swagelok:1/4"、3/8"、1/2"、φ6、φ8
IGS:1.125in、1.5in(C-Seal、W-seal) |
