射频电源已广泛应用于工艺设备；与产业；科学实验中的发生；射频感应加热；yiliao美容；常压等离子体消毒清洗等。

全固态射频电源,应用于半导体工艺设备；LED太阳能光伏；等离子体

射频电源（DX-RFS-13.56MHz）

频率： 13. 56 MH z、27. 12 MHz 、40. 68MH z

功率： 1k W、 2k W、 3k W、 6k W、 10k W或定制

产品特点

用先xianjin高效率、高稳定性射频功放技术 

1. 输出功率可以从1%至zui大输出功率连续可调

2. 全数字控制，高稳定度和高可靠性

采用稳定可靠的功放和直流控制模块 

1. 具有驻波保护功能，可在负载出现异常后快速启动

具有jingque的功率测量功能

1. 能jingque的 测量入射和反射 功率

2. 支持实时功率和负载阻抗测量

具有自动增益控制

1. 能jingzhun的控制输出功率

2. 输出功率余量大，可实现长期稳定工作

支持连续工作模式、脉冲工作模式

1. 可通过扫频实现自动匹配功能

配置7寸触控屏， 操作直观， 简单

1. 模块化结构设计，安装维修方便，有效节省空间

支持本地控制和远程控制

1. 远程控制采用RS232和RJ45网口

技术特性

 自动匹配器

产品特点

0 全数字控制， 匹配精度高， 匹配时间短

0 结构紧凑 ， 体积小， 安装便 捷

0 具有手动／自动匹配功能

0 具有保持和预置设定功能

0 具有通讯功能， 可实时显示负 载状态

0 采用真空电容， 可靠性高， 使用寿命长

0 超宽匹配范围， 可定制适配任意负载

技术特性