inficon热电离真空计BCG552-德国赫尔纳(大连)公司

inficon热电离真空计BCG552总部直接采购，原装，货期，支持选型，为您提供一对一解决方案：赫尔纳大连公司在中国设有多个个办事处，可为您提供的维修服务。

INFICON公司简介

INFICON是仪器，关键传感器技术和过程控制软件的提供商，这些产品可复杂工业真空工艺的生产率和质量。这些分析，测量和控制产品对于空调/制冷和汽车制造中的气体泄漏检测。对于光学和平板显示器，太阳能电池和工业真空镀膜应用中的半导体和薄膜镀膜的复杂制造，它们对于设备制造商和终用户。我们基于真空的工艺的其他用户包括生命科学，研究，航空航天，包装，热处理，激光切割和许多其他工业工艺。

TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中结合了 3 个真空传感元件。这款全新 Trigon TM系列的旗舰产品提供了从 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1500 mbar) 的极宽测量范围。凭借其附加的 ATM 传感器，BCG552 非常适合压差测量并在多种应用中用作真空开关。

支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内提供的精度、可重复性和使用寿命，而小型电容膜片压力计在 ATM 范围内具有的精度，并且与气体类型无关。

inficon热电离真空计BCG552优点

ü 3 + 1 传感元件可实现极宽的测量范围、降低成本并节省空间

ü 2 条用于 Bayard-Alpert 系统的灯丝

ü 10 Torr 以上的独立于气体类型的压力测量为任何气体混合物提供更可靠的负载锁定控制

ü 压差测量消除了与大气压力变化相关的不确定性

ü 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员干预

ü 电隔离电子器件以避免杂散电流

ü 滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结

ü 设定点继电器

ü 明亮、大尺寸 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

ü 模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可与 VGC50x 控制器系列结合使用

ü 向后兼容 TripleGauge® BCG450

ü RoHS 合规性

inficon热电离真空计BCG552典型应用

· 半导体工艺、传输室和负载锁定室中的压力测量

· 工业涂料

· 低至真空范围系统的一般真空测量和控制

inficon热电离真空计BCG552规格

测量范围（空气、O 2、CO、N 2） 5 × 10 -10 … 1500 毫巴

准确性  

950 ... 1050 毫巴 ：读数的 ±2.5%

50 ... 950 毫巴 ：读数的±5%

1 × 10 -8 … 50 毫巴： ±15 读数

重复性：读数的 5%，1 × 10 -8 … 1050 mbar（稳定 10 分钟后）

暴露于真空的材料 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨