高性能MFC，为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量计：采用公司自主研发的工业级XIAN进流量传感器，结合精细抛GUANG气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

主要优势

S1 物理功能模块丰富

顶部配置有丰富的功能模块：

* RJ45数字通信接口(可定制

  EtherCAT或RS485协议)

* 地址编码开关

* 现场显示屏

* 状态指示灯

此外，侧面配置有M8航空供电接口，显示直观、操作简单，方便用户进行现场流量监测和控制。

S2 快速响应

1.5ms传感器响应时间，0.1~0.5s仪表系统响应时间，及时捕捉微小流量变化

S3 高精度

S4 配备专用上位机

S5 认证产品

通过TüV国际机构CE&EMC认证，或计量院一级校准证书等，符合多项SEMI标准。

高性能MFC，为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量计：采用公司自主研发的工业级XIAN进流量传感器，结合精细抛GUANG气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

主要优势

S1 物理功能模块丰富

顶部配置有丰富的功能模块：

* RJ45数字通信接口(可定制

  EtherCAT或RS485协议)

* 地址编码开关

* 现场显示屏

* 状态指示灯

此外，侧面配置有M8航空供电接口，显示直观、操作简单，方便用户进行现场流量监测和控制。

S2 快速响应

1.5ms传感器响应时间，0.1~0.5s仪表系统响应时间，及时捕捉微小流量变化

S3 高精度

S4 配备专用上位机

S5 认证产品

通过TüV国际机构CE&EMC认证，或计量院一级校准证书等，符合多项SEMI标准。