PPOMETHEUS 流化床原子层沉积系统

粉末包覆可有效提升材料性能与使用寿命，如锂电正极或负极材料，经过表面包覆处理后在放电性能及循环使用寿命方面都有明显提升，但目前工业的包覆手段以机械混合的干法为主，该方法包覆均匀性较差，性能提升有限。ALD 技术可实现高精度及均匀包覆，是理想的包覆手段。Forge Nano 针对粉末类材料比表面积大的特点，采用流化床技术实现粉末材料的流化，从而保证前驱体与粉末实现充分的接触。P 系列是 Forge Nano 针对工业包覆研发的粉末 ALD 负载系统，可实现 kg 级粉末批量包覆，是工业生产前理想的研发工具。

产品规格

1. 前驱体通道：2-8 

2. 腔室容量：0-600ml

3. 反应器温度：450℃

4. 工艺温度：≤200℃

5. 振动流化床反应器

6. 模块：流化辅助，质谱，臭氧发生器，等离子体发生器

产品特点

P 系列是 Forge Nano 专为粉末 ALD 开发的研发级工具，可轻松实现 kg 的粉末包覆。使用流化床技术可保证粉末在反应器中的分散，有利于前驱体扩散。

流化辅助

粉末在长时间存放或流化不充分时容易出现团聚，导致无法形成理想的流化态。因此利用流化辅助模块，高剪切气流以及振动反应器的设计可冲散团聚颗粒，确保分散效果。

分区加热

所有前驱体源均可独立加热，保证较佳运输条件，这对于部分低蒸汽压的前驱体以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也拥有独特的阀门控制系统，可以实现多通道前驱体输运。

在线监测

P 系列配置了气体在线分析系统，对 ALD 工艺的改善有较大帮助，使用者可通过气体成分判断反应的完成度。

应用

锂电池：锂电正极或负极材料的包覆可有效提升其放电性能及使用寿命。常见的 NCM 与磷酸铁锂，在表面包覆 Al₂O₃ 等氧化物薄膜后，在经过多次放电后，仍可保持较高的能量密度。

3D 打印：3D 打印粉末存在腐蚀及表面氧化的问题，会影响器件的性能。通过表面涂层改性，可有效延缓氧化及腐蚀。传统的包覆方式是在器件表面进行 ALD 沉积，但对于 3D 打印粉末，直接对原材料粉末改性无疑是更有效的手段。

催化：催化反应大多数是发生在材料表面的界面反应，因此对于催化剂材料进行表面构筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末，纤维材料表面生长高活性纳米涂层，另一种方法是利用模板法结合 ALD 在表面构筑特定结构，暴露活性位点。此外，也可以在特定的颗粒表面进行表面包覆，防止催化剂烧结团聚。