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氮化铝粉末纳米氮化铝粉 绝缘导热氮化铝陶瓷
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河北永骅耐磨材料有限公司
中国 邢台
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牌号
氮化铝
类型
耐蚀耐热材料
主要材料
铝及其合金
加工定制
加工定制
成分
氮化铝
专利名称
:氮化铝粉末及其制造方法和用途的制作方法
技术领域
:
本发明涉及氮化铝粉末及其制造方法和氮化铝烧结体及其制造方法。
背景技术
:
近年来,伴随电子材料的高集成化、高输出化,对于代替目前使用的铝基板的高放热性(高热传导性)基板的需求持续升高。鉴于这样的现状,在碳化硅、氮化铝等中添加氧化铍耐火等烧结助剂,烧结制成的烧结体被认为是满足上述需求的合适材料。尤其是氮化铝烧结体材料,由于具有低毒性、高绝缘性等的特征,作为高热传导性的基板材料最为引人注目。
氮化铝烧结体,通常是通过烧结氮化铝粉末来制造。作为原料的氮化铝粉末的物理特性和化学特性会左右所得烧结体作为高热传导性基板材料使用的非常重要的特征(密度、热传导度等)。因而,对于氮化铝粉末的制造方法进行了各种研究,提出了多种方法。
例如,可以举出金属铝在氮或者氨的气氛种进行加热的方法。但是这种方法得到的是氮化铝粉末结团在一起形成大的块状物,存在不能直接做为烧结原料来使用的缺点。
还可举出氧化铝粉末和碳的粉末混合,在氮或氨的气氛中进行加热的方法,但是这种方法,作为原料的氧化铝的粒径、杂质含量等对生成物的特性有影响,必需使用高纯度、细微粒子粒径的氧化铝,导致成本上升。
还可举出对有机铝化合物和胺类的反应生成物进行加热处理的方法,但是这种方法所得到的氮化铝粉末中容易残存碳,碳对得到的最终烧结体的特性有很坏的影响。
也可举出将氯化铝和/或溴化铝气体与氨气进行气相反应的方法,但是这种方法,会产生卤化氢气体的副产物,不仅腐蚀制造装置,还必需设置将该气体排出反应系统的处理装置。
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