1.适用尺寸：2-8寸硅、碳化硅、蓝宝石等衬底基板；

2.兼容尺寸：相连两个规格可在同一台设备使用；

3.程序控制：可选择PLC、工控机进行设备控制；

4.操作界面：有中文、英文等其他可选择配置；

5.纯水清洗：18兆纯水系统选择开启使用；

6.氮气干燥：冷/热氮气选择使用；

7.转速选择：0-2800rpm之间选择。