菲索型激光干涉仪，具有 QPSI 测量模式，能够在振动环境中检测，
真正的共光路面形计量干涉仪。 
系统 
测量功能 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精
密测量光学系统的传输波前 
测量技术 
QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模
式（PSI） 
校准系统 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) 
测量光束直径 4″（102mm）或 6″（152mm） 
对准视场范围 FOV 
 4″：±3°；6″：±2°； 
光学中心线 4.25″（108mm） 
激光光源 大功率稳频氦-氖激光，IIIa 级 
波长 633 nm 
频率稳定度 < 0.0001 nm 
相干长度 ＞100m 
成像分辨率 1024 x 1024像素； 
帧速 100Hz（PSI） 
数据采集时间 130-300ms 
数据模式 8位 
放大 电控1-5X 
偏振 接近圆偏振（1.2：1或者更好） 
光曈调焦范围 4″：±2.5m；6″：±5.5m； 
计算机和软件 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO专利软件 
Metropro
TM 
9和Metropro
TM 
X
（2）
 
安装构造 水平卧式或垂直立式 
附件 详细参考 ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，
OMP-0463 
尺寸(长x宽x高) 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；
6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） 
重量 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg）； 
电源 100-240VAC，50/60Hz 
工作环境
（1）
 
温度 15°C - 30°C (59°F - 86°F) 
温度变化率 ＜1.0°C/15min 
湿度 相对湿度5% - 95% , 无凝结 
隔振 QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下
进行测量；机械移相测量模式推荐使用被动隔振
系统。