产品信息：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数：
◆模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试
◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计
◆1微米以上电极/PAD使用
◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式
◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等
规格参数
型号 | TDH-4 | TDH-6 | TDH-8 | TDH-12 |
外形（长*宽*高/mm） | 450*600*750 | 450*600*750 | 500*750*800 | 650*1050*800 |
电力需求 | 220VC,50-60HZ |
样品卡盘 | 卡盘尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
吸附孔 | 3个 | 4个 | 5 | 5/6个 |
样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） |
真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min |
背电极测试功能 | 可引出背电极 |
卡盘材质 | 不锈钢（可选紫铜镀金、紫铜镀镍） |
样品位移台 | 旋转行程 | 360°旋转（粗调）；±5°精密调节 |
卡盘升降 | Z轴行程10mm |
X-Y行程 | 4英寸×4英寸 | 6英寸×6英寸 | 8英寸×8英寸 | 12英寸×12英寸 |
移动精度 | 3μm |
控制方式 | 精密旋钮驱动 |
针座平台 | 外形尺寸 | 300*150mm/U型尺寸 |
材质 | 加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，保证测试精度 |
针座定位方式 | 磁力吸附（可以升级真空吸附） |
卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） |
针座数量 | 最多可放置6个DC探针座/4个RF针座 | 最多可放置10个DC探针座/6个RF针座 |
成像方式 | 镜头规格 | 标配双目体式显微镜，可选（金相显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜） |
放大倍数 | 20-1000倍（搭配金相显微镜） |
CCD像素 | 2000W高清像素 |
运动控制/调焦 | Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于 1μm |
显微镜位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm |
显示器 | 24寸高清显示器，HDMI高清接口 |
探针座规格 | X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm |
机械精度 | 10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动） |
漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） |
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 |
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 |
