该电源通过特殊的射频隔离设计， 将射频电源与自动匹配器集为一体， 减少射频系统体积。 输出功率300W, 频率13.56MHz, 标准正弦波。 大屏幕液晶显示：设定功率、 入射功率、 反射功率、 状态等参数。


应用对象：
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。 应用对象包括：磁控溅射、等离子清洗、 PECVD等小型容性射频系统。