实现±1.0%SP的高精度、全量程1秒内高速响应、5SCCM～500SLM的宽量程。

通讯方式可以从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通讯中选择。

该质量流量控制器不仅适用于工艺，而且适用于各种制造工艺。

• 多量程/多气体兼容。
  气体类型和满量程流量可在用户侧更改。通过减少备件数量，有助于降低成本。
• 
  从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
• 保证高精度
  ±1.0% SP（设点）
• 1秒内高速响应
  全量程（T98） 
• 尺寸紧凑，
  面间距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃气面板。
• 采用超洁净兼容
  气体接触部分，全不锈钢结构，标准内部抛光处理。

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山


USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等