现货  HORIBA堀场   LG-100系列 激光气体分析仪 LG-117

现货  HORIBA堀场   LG-100系列 激光气体分析仪 LG-117

现货  HORIBA堀场   LG-100系列 激光气体分析仪 LG-117

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LG-100系列配备了HORIBA专有的红外气体分析技术“IRLAM TM ”（红外激光吸收调制），

可实时测量半导体制造蚀刻过程中产生的废气成分SiF4，并检测微量的SiF可以从4中检测端点的变化。

• 降低蚀刻不足和过度蚀刻的风险，有助于提高生产率和良率
• 配备HORIBA专有的红外气体分析技术“IRLAM TM ”，实现高灵敏度和高速测量

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等