是一种广泛应用于高真空系统的关键设备,它通过插板的直线运动实现阀门的开关操作,具有高真空密封性能、插板结构设计、低摩擦操作、高精度控制等特点。此外,真空插板阀可以配备或,实现自动化操作,适用于频繁操作的真空系统。由于其良好的密封性能和操作稳定性,真空插板阀在半导体制造、真空镀膜等高科技领域得到了广泛应用。高真空密封性能:采用优质密封材料和精密加工技术,如氟橡胶、、金属密封等,确保在高真空甚至超高真空条件下的可靠密封。插板结构设计:插板在关闭时能够完全隔离上下游的真空系统,避免任何泄漏和污染。插板通常采用不锈钢或其他耐腐蚀材料制造,确保长期使用中的耐用性和可靠性。低摩擦操作:设计为低摩擦操作,以减少插板移动时的摩擦力,从而延长阀门的使用寿命,确保操作的平稳性和一致性。高精度控制:配备高精度的控制系统,实现阀门的精确开闭控制,适用于需要精细控制气体流动的工艺。耐腐蚀材料:所有部件通常采用高质量的不锈钢、铝合金或其他耐腐蚀材料制造,以确保在真空环境中不受腐蚀性气体的影响。模块化设计:部分真空插板阀采用模块化设计,便于安装、维护和更换部件,降低维护成本,提高系统整体可靠性。
气动超高真空插板阀采用,确保阀门移动平稳,内部采用不锈钢内焊,具有良好的密封性和耐腐蚀性。超高真空气动插板阀还采用水冷结构,适用于热量较大的场合,通过摆杆均匀分布支撑结构和四滚轮支撑运动机构,实现噪声低、振动小的操作。这些特点使得真空插板阀成为高真空系统中不可或缺的组成部分。