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特征

• 流量响应时间（稳定时间）0.75秒以下
• 创新的MEMS传感器和专用PID算法
• 尺寸为常规热敏 MFC 的一半，尺寸紧凑：1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
• 通过可选的本地操作员界面 (LOI) 简化设置和操作：下载免费的 LabVIEW VI 用于设备监控和调零
• 数字兼容 RS-232

优点

• 适用于各种非腐蚀性气体
• 快速响应时间确保即使在工艺配方更改期间也能快速采取措施
• OEM 的理想选择：尺寸紧凑，可轻松集成到狭小的机器空间中并加快安装速度
• 可选的本地操作员界面 (LOI) 是用于本地查看、设定点控制和设备配置的统包解决方案。无需远程辅助电子设备。
• 多种通讯选项可满足您的要求

目的

• 热处理、切割/焊接、热加工
• 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
• 测量和控制试剂、校准和样气流量的分析设备

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山


USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等