美国Pentagon Technologies ST表面尘埃粒子理化分析仪是当今行业标准的测量工具及过程控制表面颗粒污染解决方案专家.

更加有效管控表面粒子在0.1 um范围成为了至关重要的产量良率及过程控制测量的重要指标。

Pentagon Technologies针对从submicron至deep submicron (0.18, 0.13..) 的Production机台, 建立了特别的PM procedure可降低50% Test Wafer的消耗量及增加OEF(Overall Equipment Effectiveness), 其应用于各种Thin Film( PVD, CVD..), Etching and Diffusion Equipments. 以及工作台面积台表面洁净度等的验证.

Pentagon Technologies 亦针对Fab整体的contamination可提供详细的侦测及评估进而提高OFE (Overall Fab Effectiveness), 这可提供QA人员非常advanced的帮助。

适合使用单位:

•适合客户群: 半导体黄光, 蚀刻制程, 零件清洗商,设备清洁维护, 光电厂, 玻璃基板厂等

•适合单位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE, QA, QC ,  Microntation , Etch, Diffusion.

规格说明：

粒子量测范围：0.1um - 5um

通道：0.1、0.2、0.3、1.0、3.0、5.0um

传感器：雷射二极管

显示屏幕：7 英寸 WVGA，触控屏幕，带有缩放功能

数据输出：USB 端口、以太网络、WiFi (选配)

语言：英文、中文、日文、韩文

尺寸和重量：宽12英寸X 深12英寸X 高9英寸，26.5 磅

输入电源：100-240 VAC，50/60 赫兹

电池：2颗 锂电池，可热插入