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特征
- 可更换传感器的固定式半导体材料气体检测仪
- 更换传感器时,只需购买已校准的传感器并直接安装即可,无需到现场进行大气校准。
- 可测量NF 3气体
- 兼容Modbus (RS-485/OTA网络) (PS-7-M) *OTA网络通讯支持PoE
- 符合 CE 和 SEMI 标准
应用
用于半导体制造工厂检测半导体材料的气体泄漏
◆ 便捷式(可单独更换传感器)半导体材料气体检测仪XPS-7II
◆ 便携式半导体气体检测仪 XP-703DIII
◆ 使信号线无线化的无线开关是WC-7L
标准
侦察机体 | 半导体材料气体、气体、气体 |
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侦察原理 | 半导体材料:恒电位电解型 气体:热线型 半导体型 气体:原电池型 |
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身体取样方法 | 自动吸料型 |
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侦察范围 | 采购标准 |
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警报 | [报警设定值] 由规格决定 [报警方式] 红色LED灯闪 LCD屏幕 第一步:ALARM1 第二步:显示ALARM1、ALARM2 |
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尺寸 | W62 x H124 x D143mm(不包括配件和突出部分) |
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重量 | 约1.0公斤 |
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适用温湿度范围 | 0°C 至 40°C(无急剧变化)、30 至 85% RH(无凝露) |
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所用电源 | DC24V±10% |
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功耗 | 约 7W |
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外部导出 | ・气体浓度模拟输出DC4-20mA(与负电源共用) ・气体警报接点(1级、2级)1a无电压接点/自动恢复 ・故障警报接点(集电极开路/自动恢复) |
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