西格里6N超高纯度石墨粉是专为第三代半导体碳化硅(SiC)单晶生长研发的核心原料,纯度达99.9999%(6N级),严格符合半导体行业对痕量杂质(硼、铝、钒等)的ppm级控制要求。本产品采用德国西格里集团提纯工艺,结合高温热化学处理技术,确保纳米级颗粒均匀性(D50≤1μm),适用于物理气相传输法(PVT)生长高质量SiC晶体,满足新能源汽车、5G通信、光伏等高端领域需求[[3]。
核心特性
1. 超高纯度与稳定性
通过2700℃高温提纯及多级化学纯化工艺,金属杂质含量低于0.1ppm,氮浓度≤5ppb,有效避免SiC晶体电学性能劣化,为制备半绝缘衬底提供可靠保障[[7]。
2. 耐极端高温环境
石墨粉在2000~2500℃的SiC晶体生长炉中表现优异,热膨胀系数低至4.5×10⁻⁶/℃,可长期耐受高温熔融硅蒸汽环境,确保晶体生长过程稳定性[[6]。
3. 优异导电与热导性能
电阻率≤15μΩ·m,热导率高达120W/(m·K),适配高频功率器件对材料导电和散热需求,广泛应用于SiC外延片、MOSFET及IGBT芯片制造[[5]。
应用场景
- SiC单晶衬底合成:作为PVT法核心碳源,与高纯硅粉反应生成SiC微粉,用于4H-SiC导电型及半绝缘型晶圆生产[[4]。
- 半导体设备关键部件:用于制造长晶炉石墨坩埚、加热器等耐高温组件,保障设备在极端工况下的使用寿命[[8]。
工艺与质量认证
本产品通过ISO 9001质量管理体系认证,符合《碳化硅单晶用高纯石墨粉》行业标准(碳含量≥99.9996%),支持定制粒径(800~15000目)及微量元素控制,满足客户差异化需求。
“现货直发/支持试样”;针对科研客户,可补充“提供XRD、GDMS全项检测报告”等增值服务。
